首先，硅片在生产和清洁工业中，使用酸碱水去除硅片表面的有机物、颗粒、金属杂质、天然氧化层和其他污染物，洗涤后的硅材料需要在烤箱中烘干，因此烘箱内各点的温度均匀性和炉内热风循环的风量是需要考虑的因素。

　　其次，在干燥过程中，含有酸碱水的硅材料将以酸碱腐蚀性气体排放，因此，在选择多晶硅炉时，还应考虑其废气系列。

　　多晶硅是一种以金刚石晶格的形式排列成许多晶核的硅原子，如果这些晶核具有不同的晶面取向，那么这些晶粒就会组合成多晶硅。多晶硅材料是生产单晶硅的直接原料，是人工智能、自动控制、信息处理、光电子转换等半导体器件的电子信息基础材料。